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核心产品
主营先进陶瓷精密部件，专注替代进口，可按需定制
我们的优势
深耕先进陶瓷领域，掌握核心技术，专注替代进口，品质对标国际
替代进口
自主技术，性能对标国际品牌，显著降低成本与交期
按需定制
从材料配方到成品，提供全流程个性化定制
高精密品质
全套日瑞精密加工与检测设备，保障产品一致性与可靠性
专家团队
多位国内外先进陶瓷专家领衔，技术力量雄厚
资质荣誉
通过ISO认证，拥有自主专利，掌握先进陶瓷核心工艺，技术实力领先
质量管理体系认证证书
多孔陶瓷吸盘
改进型静电吸盘
勾槽型陶瓷吸盘专利证书
陶瓷加热器
陶瓷吸附悬浮平台
陶瓷真空机械手臂
凸点陶瓷吸盘
新闻资讯
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陶瓷聚焦环怎么选？刻蚀设备用高纯陶瓷环的材质与定制要点
陶瓷聚焦环位于晶圆和静电卡盘边缘，会影响等离子体分布、边缘刻蚀均匀性与颗粒水平。方泰新材料可提供氧化铝、氮化铝、碳化硅等精密陶瓷聚焦环及相关半导体陶瓷零部件定制。
232026-09
PVD设备静电卡盘故障怎么排查？漏电流、背吹气与残压实战要点
ESC是PVD腔室中固定晶圆、控制温度和提供偏压路径的关键部件。方泰新材料结合半导体设备维护经验，解析漏电流、背吹气孔堵塞和De-chuck残压三类故障的现象、排查步骤与维护清单，并说明陶瓷静电吸盘的材料与加工要求。
222026-09
半导体设备陶瓷材料怎么选：氧化铝、氮化铝与碳化硅对比
半导体设备不同部位对陶瓷材料的要求差异很大。方泰新材料结合氧化铝、氮化铝、碳化硅等材料体系，解析三种先进陶瓷在绝缘、导热、轻量化和尺寸稳定性方面的特点，帮助设备工程师确定选材方向。
212026-09
多孔质、沟槽式、凸点式陶瓷真空吸盘怎么选？
陶瓷真空吸盘并非一种结构通用所有工况。多孔质强调全表面均匀吸附，沟槽式便于快速建立真空，凸点式可降低接触面积。方泰新材料支持氧化铝、碳化硅等材料及孔径、孔隙率、平面度定制。
182026-09
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